HITACHIyra vienas iš pasaulinių lyderių gaminančių pažangiausius elektronų mikroskopus, įskaitant FE-SEM (lauko emisijos skenuojančius elektronų mikroskopus), SEM (skenuojančius elektronų mikroskopus), TEM (transmisijos elektronų mikroskopus) ir stalinius elektronų mikroskopus.